ČVUT má novou mikroskopovou laboratoř na výzkum čipů, polovodičů a elektroniky

2. 11. 2023

Sdílet

Laboratoř FEL ČVUT Autor: FEL ČVUT
Laboratoř FEL ČVUT

Fakulta elektrotechnická ČVUT má novou referenční laboratoř pro korelativní mikroskopii. Užití najde skrze různé obory včetně vývoje léčiv a sloužit bude také k výzkumu v oblasti polovodičů. Škola do laborky investovala dvacet milionů korun.

“Nová laboratoř tak přispěje k tomu, aby se na pracovní trh dostávali vysoce specializovaní odborníci, po kterých je poptávka zejména ze strany firem působících v oblastech biomedicíny, nanomateriálů, elektronických součástek, polovodičů nebo baterií,” shrnul Bohuslav Rezek, vedoucí katedry fyziky FEL ČVUT.

ČVUT také loni otevřela laboratoř pro výzkum čipů a polovodičů. Takzvaný Nanolab stál čtyřicet milionů a obsahuje i čistou místnost.

Česko má teď i díky plánům Onsemi v Rožnově (investice 44 miliard do produkce na bázi karbidu křemíku) velké čipové ambice, ale velkým problémem je nedostatek lidí. Podobné aktivity škol mohou pomoci.

Ambice jsou velké, lidé chybí. Česko chce výrazně posílit v čipech, má ale nedostatek odborníků Přečtěte si také:

Ambice jsou velké, lidé chybí. Česko chce výrazně posílit v čipech, má ale nedostatek odborníků

FEL ČVUT laboratoř popisuje takto:

Referenční laboratoř se bude zabývat demonstrací, testováním a dalším vývojem měření v režimu CPEM (Correlative Probe-Electron Microscopy). Tato metoda je vyvinuta firmou NenoVision a propojuje signál z mikroskopu atomárních sil (AFM) a rastrovacího elektronového mikroskopu (SEM) do výsledného komplexního souboru dat a jeho obrazové vizualizace korelující vybrané morfologické, chemické, mechanické, elektrické a magnetické vlastnosti. Aplikace této metody sahají od přírodních věd po analýzu polovodičů a nanomateriálů.

Pro otevření laboratoře byla klíčová spolupráce s brněnskou firmou NenoVision. Ta stojí za vývojem specializovaného AFM modulu, který laboratoř získala v rámci spolupráce na společném projektu TACOM. Modul AFM byl vyvinut právě pro integraci do SEM, kde s pomocí pokročilého elektronického a softwarového řízení lze zkoumaný vzorek zobrazovat oběma přístroji zároveň. SEM mikroskop s vhodnými parametry byl dodán firmou Zeiss.

Referenční laboratoř vznikla na FEL v roce 2023 jako součást mezinárodního projektu TACOM podpořeného grantovou agenturou TAČR. Projekt byl zahájen v březnu loňského roku a účastní se ho celkem pět týmů z České republiky a Koreje.

Zatímco korejská strana se soustředí především na vývoj tzv. AirSEM mikroskopu pro Life Sciences (rastrovacího elektronového mikroskopu pro zkoumání biologických vzorků mimo vakuum), česká strana intenzivně pracuje na výzkumu a vývoji korelativní SEM-AFM mikroskopie. Jedním z cílů projektu je posílení spolupráce ve výzkumu a průmyslovém vývoji mezi Českou republikou a Koreou, které má napomoci vývoji, propojení a širšímu komerčnímu uplatnění těchto metod.

V rámci projektu TACOM spolupracuje skupina prof. Bohuslava Rezka na katedře fyziky FEL ČVUT na výzkumu a vývoji nových metod korelativní mikroskopie. Referenční laboratoř slouží pro demonstraci a testování měření v režimu CPEM. Mimo tuto metodu se v laboratoři nachází i další přístroje pro korelativní měření, zejména multifunkční optický mikroskop, který obsahuje Ramanův spektrometr, fotoluminiscenční spektrometr, mikroskop atomárních sil, Kelvinovskou mikroskopii, měření elektrické vodivosti, a skenovací mikroskop v blízkém optickém poli.

Neproklouzne ani smítko. ČVUT otevřela laboratoř na výzkum čipů a polovodičů Přečtěte si také:

Neproklouzne ani smítko. ČVUT otevřela laboratoř na výzkum čipů a polovodičů

Našli jste v článku chybu?

Autor aktuality

Upozorníme vás na články, které by vám neměly uniknout (maximálně 2x týdně).